工藝過程裝備

            FLAG系列磁控濺射系統(tǒng)
            ◆FLAG系列磁控濺射系統(tǒng)通過共焦超高真空陰極,制備各類金屬及其合金、非金屬單層膜、多層膜和摻雜膜系;
            廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、材料等相關(guān)工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域;

            性能指標(biāo)


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